Одно-, двух-, трёх- и четырёхмишенные системы магнетронного распыления для нанесения металлических и оксидных покрытий, в том числе установки со шлюзовой (load-lock) камерой для серийного производства.
Одно-, двух-, трёх- и четырёхмишенные системы магнетронного распыления для нанесения металлических и оксидных покрытий, в том числе установки со шлюзовой (load-lock) камерой для серийного производства.
