Одно-, двух-, трёх- и четырёх-магнетронные системы напыления для нанесения металлических и оксидных покрытий, в том числе установки со шлюзовой (load-lock) камерой для серийного производства.
Одно- и много- магнетронные системы распыления для нанесения металлических и оксидных покрытий, в том числе установки со шлюзовой (load-lock) камерой для серийного производства.
